抛光片的质量检测项目包括：几何参数，直径、（)、主参考面、副参考面、平整度、弯曲度等;（)，电阻率，

抛光片的质量检测项目包括：几何参数，直径、()、主参考面、副参考面、平整度、弯曲度等;()，电阻率，载流子浓度，迁移率等;晶体质量，晶向，位错密度。