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硅外延生长工艺包括（)。A.衬底制备B.原位HCl腐蚀C.生长温度，生长压力，生长速度D.尾气的处理

硅外延生长工艺包括()。

A.衬底制备

B.原位HCl腐蚀

C.生长温度，生长压力，生长速度

D.尾气的处理

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