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热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（)化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。

热分解化学气相淀积二氧化硅是利用()化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。

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