一块掺施主浓度为2×1016cm－3的硅片 在920℃下掺金到饱和浓度。然后经氧化等处理 最后此硅

一块掺施主浓度为2×10¹⁶cm^-3的硅片，在920℃下掺金到饱和浓度。然后经氧化等处理，最后此硅片的表面复合中心为10¹⁰cm^-2。