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问题

一块掺施主浓度为2×1016cm-3的硅片 在920℃下掺金到饱和浓度。然后经氧化等处理 最后此硅


一块掺施主浓度为2×1016cm-3的硅片,在920℃下掺金到饱和浓度。然后经氧化等处理,最后此硅片的表面复合中心为1010cm-2

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