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硅芯炉控制系统包括上轴速度控制单元 下轴速度控制单元 籽晶托盘控制单元 温度控制单元几部分。()


硅芯炉控制系统包括上轴速度控制单元、下轴速度控制单元、籽晶托盘控制单元、温度控制单元几部分。()

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