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问题

硅烷法的特点是()。


硅烷法的特点是()。

A、硅烷易爆炸

B、易于分解为非晶硅

C、不需用氢还原,甲硅烷可以热分解为多晶硅

D、硅烷气体易于用吸附法提纯

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