碱制绒的工艺要求
A、硅片减薄重量为0.25g~0.45g
B、制绒后硅片目视当为黑色,不同角度观察呈均匀绒面,无绒面不良现象。
C、制绒后硅片在显微镜下观察,金字塔分布呈均匀致密,相邻金字塔之间没有间隙。