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用等离子体CVD法得到的微晶硅 在1980年前后就有研究机构报道了结果 由于微晶化带来的低电阻 主要被用于a-Si太阳能电池的n层。


用等离子体CVD法得到的微晶硅,在1980年前后就有研究机构报道了结果,由于微晶化带来的低电阻,主要被用于a-Si太阳能电池的n层。

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