14 PECVD 的全称是?

二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（)、（)淀积、PECVD淀积。

PECVD 的中文名称是等离子体增强化学气相沉积技术()

PECVD是指______

NRI的中文全称为网络资源标识 占用()的第23bit—14bit作为NRI标识。

LPCVD和PECVD的不同包括:

PECVD的一个基本特征是实现了薄膜沉积工艺的 低温化()