物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。

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热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（)化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。

有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？

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输入数据的两种基本方法是?

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