在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。

根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？

酶活性测定方法中平衡法又称为A．中止反应法B．终点法C．动力学法D．速率法E．连续检测法

表面等离子体生物传感器是光学生物传感器的一种 掌握其检测原理 传感过程及其在医学检验领域中的应用非

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