根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？

简述BOE（或BHF)刻蚀SiO2的原理。

根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？

在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。

层析法按原理分类有哪几种？各自分离依据是什么？

什么是迁移？根据迁移的性质可以分成哪几种?

乔姆斯基分类法按照什么原则对文法进行分类？分成了几类？各有什么样的特点？