离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是（)和（)。

热退火用于消除离子注入造成的损伤，温度要低于杂质热扩散的温度，然而，杂质纵向分布仍会出现高

离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（)。A.能量B.剂量

细胞外液中最重要的阳离子是

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