外延层的迁移率低的因素有原材料纯度（);反应室漏气;外延层的晶体（);系统沾污等;载气纯度不够;

外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。