简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性？

为什么说洁净技术是半导体芯片制造过程中的一项重要技术？

光刻工艺一般都要经过涂胶、（)、曝光、（)、坚膜、腐蚀、（)等步骤。

什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？

简述在芯片制造中对金属电极材料有什么要求？

气中的一个小尘埃将影响整个芯片的（)性、（)率，并影响其电学性能和（)性，所以半导体芯片制造工艺

下列处理工艺 适用于芯片制造项目产生的含氟废水预处理的是（）。 A.隔油 B.CaC12凝沉淀