LPCVD和PECVD的不同包括:

LPCVD和PECVD的不同包括:

A、LPCVD？主要采用加热的方式提供化学反应的能量

B、PECVD主要采用等离子体提供能量

C、LPCVD温度比较高,只能用于金属前介质的淀积

D、PECVD温度比较低,适合金属间介质的淀积