LPCVD和PECVD的不同包括:
A、LPCVD？主要采用加热的方式提供化学反应的能量
B、PECVD主要采用等离子体提供能量
C、LPCVD温度比较高,只能用于金属前介质的淀积
D、PECVD温度比较低,适合金属间介质的淀积
二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（)、（)淀积、PECVD淀积。
社会保险和商业人身保险的不同点主要包括（)：①性质不同;②权利和义务对等关系不同;③资金来源不
PECVD 的中文名称是等离子体增强化学气相沉积技术()
PECVD是指______
14 PECVD 的全称是?
PECVD的一个基本特征是实现了薄膜沉积工艺的 低温化()
冀公网安备 13070302000102号
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