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问题

PECVD的一个基本特征是实现了薄膜沉积工艺的 低温化()


PECVD的一个基本特征是实现了薄膜沉积工艺的 低温化()

A、<350℃

B、<450℃

C、<550℃

D、<650℃

参考答案
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